在物理作用下等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子及自由基等多種活性粒子，會(huì)作用到固體樣品表面，能清除表面原有的污染物和雜質(zhì)。此過(guò)程也會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用，能夠?qū)悠繁砻孀兇植?，形成許多微細(xì)坑洼，增大了樣品表面的粗糙比例，提高了固體表面的粘合及浸潤(rùn)性能。

等離子表面處理激活鍵能與交聯(lián)的作用

等離子體中的粒子能量在 0~20eV之間，而聚合物中大部分的鍵能在 0~10eV之間。因此等離子體通過(guò)等離子表面處理作用到固體表面后，能夠?qū)⒐腆w表面的原有的化學(xué)鍵破壞，營(yíng)造出一種新的反應(yīng)氛圍，等離子體中的自由基中能夠與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了表面的活性。

等離子表面處理能夠形成新的官能團(tuán)

進(jìn)行等離子表面處理時(shí)在放電氣體中引入反應(yīng)性氣體，會(huì)在活化的材料表面產(chǎn)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)。在此過(guò)程中材料表面可以引入新的官能團(tuán)，如烴基、氨基、羧基等，這些新的官能團(tuán)都是一些活性基團(tuán)，能夠明顯提高材料表面的活性。