低溫plasma的表面改性是固體和氣體之間的直接反應(yīng)：
       低溫plasma的原理是將空氣分子通常電離析為離子、電子和微小的粒子，然后通過(guò)這些微小的粒子不斷地對(duì)材料表面進(jìn)行轟炸，以提高材料表面的親水性。目前，電子、醫(yī)療、航空航天、印染等行業(yè)都采用了低溫plasma技術(shù)。
      使用射頻電源的低溫等離子體或某人稱(chēng)為冷等離子體。其特點(diǎn)是能量密度高，但柔軟，溫度相對(duì)較低。使用時(shí)的溫度與正常天氣相同，不會(huì)對(duì)材料表面造成高溫?fù)p壞。在改性材料表面的過(guò)程中，等離子不僅能與材料表面產(chǎn)品發(fā)生物理反應(yīng)，還能與材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。

       低溫plasma技術(shù)具有工藝簡(jiǎn)單、操作方便、成本低、對(duì)材料無(wú)損傷、加工速度快、處理效果好、環(huán)境污染小、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。近年來(lái)，它發(fā)展迅速，取代了許多傳統(tǒng)的材料表面處理方案。特別是精密電子和電氣行業(yè)，得到了非常廣泛的應(yīng)用。
       低溫plasma的表面改性是固體和氣體之間的直接反應(yīng)。這是一種干洗過(guò)程。清洗后的材料可以直接使用，不僅可以大大提高工作效率，而且可以大大節(jié)約水資源、節(jié)能環(huán)保，減少化學(xué)溶劑的使用和廢物處理。同時(shí)，該技術(shù)具有反應(yīng)速度快、作用時(shí)間短、物理力學(xué)性能損失小、改性效果多、應(yīng)用前景廣闊等優(yōu)點(diǎn)。