頻次13.56Mhz的真空等離子設備在半導體封裝加工工藝內的應用：
        現(xiàn)階段的電子器件清潔，通常是用等離子體清洗。傳統(tǒng)的電子器件采用的是濕法清潔，而在電路板上有些元器件，如晶振之類的，都會有金屬外殼，在清洗過后，很難將元器件里面的水分干燥，用酒精、天那水等人工進行清洗，氣味大、清潔效率低，浪費人工成本。
        電子器件或IC芯片是當今電子產品的復雜基石?，F(xiàn)代IC芯片包括印刷在晶片上的電子器件，并且附接到“封裝”，該“封裝”包括到pcb電路板的電連接，IC芯片焊接在pcb電路板上。用于IC芯片的封裝還提供遠離晶片的磁頭轉移，并且在某些情況下，提供圍繞晶片本身的引線框架。當IC芯片包括引線框架時，晶片上的電連接結合到引線框架上的焊盤，然后引線框架焊接到封裝上。
IC芯片生產制造行業(yè)中，真空等離子設備處理技術己是一類不可替代的成熟工藝，不論是在芯片源離子的注入，還是晶元的鍍膜，亦或我們的低溫等離子表面處理設備所能做到的：在晶元表面去除氧化膜、有機物、去掩膜等超凈化處理及表面活化提高晶元表面浸潤性。

        半導體封裝中存在的問題主要包括焊接分層、虛焊或打線強度不夠，導致這些問題的罪魁禍首就是引線框架及芯片表面存在的污染物，主要有微顆粒污染、氧化層、有機物殘留等，這些存在的污染物使銅引線在芯片和框架基板間的打線焊接不完全或存在虛焊。
        真空等離子設備主要通過活性等離子體對材料表面進行物理轟擊或化學反應等單一或雙重作用，從而實現(xiàn)材料表面分子水平的污染物去除或改性。等離子清洗機有效應用在半導體封裝工藝中，能夠有效去除材料表面的有機殘留、微顆粒污染、氧化薄層等，提高工件表面活性，避免鍵合分層或虛焊等情況。
         頻次13.56Mhz的真空等離子設備清洗技術也將不斷發(fā)展并擴大應用范圍,以目前的情況來說,其工藝技術推廣到LED封裝及LCD行業(yè)趨勢勢在必行。等離子表面清洗技術在半導體封裝領域內的應用將越來越廣泛，并以其優(yōu)良的性能成為21世紀半導體封裝領域內關鍵生產裝置，成為大規(guī)模生產過程中提高產品成品率及可靠性的重要工藝措施，未來必然不可或缺。