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20年專注等離子清洗機研發(fā)生產(chǎn)廠家
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氣流量的大小對清洗的影響較大,等離子清洗機在清洗中,要保持一定的真空度(0.1-0.2torr)才能產(chǎn)生輝光進行清洗,在0.1-0.2torr真空度下對于清洗的效(果)都是相同的。在真空度越低的狀態(tài)下,相對的輝光較強。在清洗的過程中,需要隨時將被清洗下來的污染物用真空泵抽走,同時也要隨時補充干凈的氣體,為保持一定的真空度,進氣與抽出的氣體應該處于一種動態(tài)平衡的狀態(tài),如果進氣量過大,對真空泵的要求就高,這樣一來將浪費氣體。另外,針對高要求的超清洗氣源應先過濾,再輸入plasma等離子清洗機的腔體,這時的氣體流量也不可過大.
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